芯片是怎么造出来的?良率怎么计算?
一、
石头怎么变成芯片
怎么用一块普通的石英岩,造出一个价值连城的芯片?
处理这个石头的第一步是从提纯到变态。先把石英岩砸成砂,再经过高温熔炼、化学洗炼,最后得掏出一根纯度接近100%的单晶硅锭。这根硅柱子有几百公斤重,然后用特制的金刚石锯片,把它切成直径300毫米、薄得只有0.75毫米的圆片,也就是咱们说的晶圆。这晶圆的表面得抛得比镜子还光,误差控制在0.1纳米以内,背面还要刻上专属序列号,留个小缺口当指个方向,不然后续机器都不知道该从哪下手。
到这还只是原材料预处理,造一颗高端CPU,得几百台设备,几千道工序。而且干活的车间比手术室干净几百倍,你肉眼看不见的一粒灰尘,掉在晶圆上,就可能让上面几十亿个晶体管中的一个短路,整颗芯片直接报废。所以哪怕做到这份上,完美的晶圆还是少得可怜,这就是为啥芯片要分级:晶圆上缺陷最少的一块用来做顶级的i9;稍差点的给i7、i5;那些有瑕疵但还能凑合用的,就做成i3。相当于不同的品相有不同的价格。
要是把芯片放大10万倍,你会发现它根本不是一块扁平的板子,而是一个层层叠叠的微型摩天大楼。楼里的居民就是晶体管,比如5纳米工艺的晶体管,尺寸只有36×6×52纳米,俩晶体管之间的距离才57纳米,比头发丝的万分之一还细,跟细胞里的线粒体比起来都算小个子。这座楼得盖一百多层,每一层都是金属导线和绝缘体交替叠加,层与层之间的线路还要精准对接,不能出半点差错,不然整座楼都废了。
建这个楼的人就是光刻机。它有点像小时候玩的晒照片,但精度和难度直接拉满。首先得有一张底片,也就是光掩膜,上面刻着设计好的电路图案,这些线条细到比头发丝细上万倍。但线条越细,需要的光就越特殊。因为普通的光波长太长,根本刻不出这么精细的图案,所以工程师得自己造光。
先在真空环境里,用比切割金属的激光还强15倍的光束,去打那些高温熔化的金属锡液滴。锡液滴被击中的瞬间,会直接气化变成等离子体,这时释放出波长极短的EUV(极紫外光)。但这束光一碰到空气就会被吸收,所以光刻机内部必须保持绝对真空,还得用特制的反射镜来引导它。让这束光精准落在晶圆上的难度,相当于我们从月球发射一束激光,正好击中地球上某个人的手指。
光有光还不够,得有感光涂料配合,也就是光刻胶。先在晶圆表面涂一层均匀的光刻胶,烤干去掉杂质,再送进光刻机。EUV光透过光掩膜上的图案,照到光刻胶上,被照射到的部分会自动脱落,没被照到的就牢牢粘在晶圆上。接下来把晶圆泡进腐蚀液里,没被光刻胶保护的硅片部分会被蚀出沟槽,再把剩下的光刻胶洗掉,一层电路的雏形就出来了。
但硅本身导电性能一般,所以得给沟槽镀铜——不过不能直接镀,得先加一层阻挡层,防止铜原子渗进硅片里搞破坏。等沟槽填满铜,再用超纯水反复冲洗,用氮气烘干,避免残留的灰尘导致晶体管短路,这一层才算真正完工。但是还早,芯片有一百多层线路,这套流程得原封不动地重复一百多次,每一次的精度都不能打折扣。
二、
良率怎么计算
在代工这行,成熟制程的良率早就成了关键。拿中芯国际来说,它的28nm工艺良率已经冲到了94-96%,稳稳在中低端代工市场站住了脚;就连14nm工艺的良率也突破了90%,现在国产AI训练芯片的量产基本都能撑得起来。
但到了先进制程上,良率的差距就拉开企业之间的身位了。台积电的2nm(N2)工艺量产良率已经干到了70%以上,有些客户反馈甚至接近75%,靠着这个,苹果、英伟达这些顶级客户全都抢着下单,产能已经排到了2027年。反观三星,虽然嘴上喊着SF2工艺“良率85%”,但实际量产下来平均也就40%到50%,跟台积电一比,差距一眼就看出来了。
从FinFET换成GAA,算是晶体管结构的一次大换血,三家厂商都在摸着石头过河。台积电仗着之前FinFET玩得好,技术又稳,良率冲在最前。最新消息说N2良率快到80%了。英特尔的18A工艺(大概50%-55%)想靠背面供电技术抄近道,结果反而让良率爬坡更费劲。三星SF2(大概40%)呢,当个先行者,还在啃GAA技术的硬骨头。
EUV这玩意虽然提升了精度,但光子少得可怜还特别随机,搞得到处都是线边毛糙,所以2nm以下芯片很容易出问题,这个只能在工艺上去控制了,家家有本难念的经。中芯国际没EUV光刻机,硬是用DUV多重曝光搞出等效7nm的制程,算个大突破。但得加好多次曝光,工序上增加 30%、成本高出 50%。
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厂商 |
良率情况 |
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中芯国际-28nm |
良率稳定在94%-96%,与行业顶尖水平的差距已缩小至3个百分点以内,月产能和全球市占率领先。 |
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中芯国际-14nm |
良率突破90%,能够稳定量产并满足AI训练芯片等中高端需求。 |
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台积电-N2(2nm) |
量产良率突破70%,遥遥领先,包揽了苹果、英伟达、AMD等几乎所有顶级客户的订单,产能都排到2027年。 |
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三星-SF2(2nm) |
实际量产平均良率约为40%-50%,远低于台积电。 |
芯片面积对良率的影响是不会变的,面积越大,良率越掉。所以聊良率得看具体啥芯片:台积电做小面积的SRAM测试芯片,良率能飙到90%以上;但要是做英伟达那种800多mm²的大AI芯片,良率肯定掉得狠,能到30%就算顶天了。
行业内计算良率(缺陷密度)是用的统计模型,目前演变出来有四个。
(一)泊松模型
泊松模型是缺陷随机分布的基础假设,计算公式为:
这个方法比较古早了,1960 年代末出现的
适用两个场景
1、中小面积芯片,CPU、移动处理器这种:
英特尔18A工艺在 时,114mm²(1.14cm²)芯片的理论良率= ,与实际测算的64.4%存在差距,因为这个模型对边缘缺陷不敏感,泊松是假设缺陷在晶圆上均匀随机分布。
这种统计策略过于乐观,它没有考虑晶圆边缘缺陷集中效应,对于大芯片肯定是不行的。
(二)墨菲模型
墨菲模型(Murphy Model)就是对这些边缘缺陷做一个修正,它是1980 年代末提出的。假设缺陷密度 服从对称三角分布,均值为 ,良率计算公式为:
这个模型其实更符合生产中边缘缺陷率高的情况,也就是晶圆边缘缺陷密度通常比中心高30%-50%。
(三)Seed模型
两个应用场景:
2、功率器件
碳化硅MOSFET的缺陷是因为外延层中的位错聚集是局部集群的。传统泊松模型假设缺陷独立随机分布,而Seed模型考虑了缺陷聚集效应,其预测良率通常比泊松模型低10-15。
问题是这个模型对缺陷分布假设严格,需通过历史数据验证指数分布适用性,而且没有考虑光刻缺陷影响后续刻蚀,这个属于工艺步骤间的缺陷传导。
(四)波色-爱因斯坦模型
适用场景:
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再谈一谈10月9日的稀土出口新规定。
三、
10.9稀土出口新规
2025年10月9日,中国商务部发布两项稀土出口管制公告,规定从12月1日起,含有0.1%及以上中国重稀土成分的境外磁体和半导体材料,再出口时必须获得中方批准。
谁也没想到,一颗微小的稀土原子,能让全球顶尖的半导体巨头陷入两难。大陆稀土出口新规生效后,台积电 5nm 芯片的生产突然卡了壳,他的核心材料镧的纯度需求刚好超出管制标准0.5个百分点,想继续量产,必须先过大陆的许可审批关。 稀土在高端制造中是比较关键的。拿镧来说,这个是用在 5nm 芯片的栅极层原子沉积工艺中的,它能让电子迁移率提升 20%,让晶体管开关速度加快 15%,更能将芯片漏电量压低到惊人的 1/11 亿安培。对台积电而言,每片价值 1.5 万美元的晶圆仅需 2.3 毫克镧。大陆能稳定供应 99.9999% 纯度的镧,而日本最高只能达到 99.99%,这一点点的差距能让芯片良率下降 3 个百分点,在半导体行业可以说是生死线。
全球高纯镧的产量,大陆占了 87% 的绝对份额,剩下的 13% 由法国公司把控,可其生产原料还是要从中国包头的稀土矿进口。而且镧全程要在惰性气体保护下运输,一旦接触空气就会氧化报废。从包头到金门再到台湾的海运路线,是成本最低、纯度最有保障的选择。如果强行改走日本中转,运输成本会暴涨5倍,纯度还会因为多次转运进一步下降。台积电喊了半天的 “去大陆化”,其实是放弃最稳定的供应链,等于自断生路。
这次出口管制将镧的纯度标准卡在 99.999%,而台积电的5纳米工艺恰好需要 99.9995%。要弥补这一点点纯度差,需要额外增加18道精炼工序,美国半导体协会算过一笔账,光是重新设计适配的 107 道制程,成本就超过40亿美元。更讽刺的是,这些替代制程的核心专利,80% 都握在中科院手里,想绕开根本不可能。
除了台积电 5nm 工艺因高纯镧短缺陷入停滞,三星、SK 海力士这些巨头也面临氮化镓、锗等关键材料的供应危机。据彭博社测算,如果中国全面暂停相关材料出口,全球半导体产能可能下降 15%-20%,部分高端产品生产将停滞6个月以上。
内容转载自“小叶投研”信息来源:
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